中国电子行业超纯水国家标准
时间：2007年10月26日
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指 标 名 称
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一 级 水（EW-1）
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二 级 水（EW-2）
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| 电阻率MΩ.CM. （25℃） |
18(95‰时间)不低于17
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15(95‰时间)不低于13
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| 硅≤μg/L |
2
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10
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| ＞1μm 微粒数 |
0.1
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5
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| 细菌个数≤/ml |
0.01
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0.1
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| 铜 ≤μg/L |
0.2
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1
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| 锌 ≤μg/L |
0.2
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1
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| 镍≤μg/L |
0.1
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1
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| 钠≤μg/L |
0.5
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2
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| 钾 ≤μg/L |
0.5
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2
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| 氯≤μg/L |
1
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1
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| 硝酸根≤μg/L |
1
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1
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| 磷酸根≤μg/L |
1
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1
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| 硫酸根≤μg/L |
1
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1
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| 总有机碳≤μg/L |
20
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100
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