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中国国家电子级超纯水标准GB/T11446.1-1997

时间：2007年11月9日

附1中国国家电子级超纯水规格 GB/T11446.1-1997

	电阻率 25℃ MΩ*cm	硅 ≤μg/L	铜 ≤μg/L	锌 ≤μg/L	镍 ≤μg/L	钠 ≤μg/L	钾 ≤μg/L	氯 ≤μg/L	>1μm颗粒 ≤个/ml	细菌 ≤个/ml	硝酸根 ≤g/L	磷酸根 ≤μg/L	硫酸根 ≤μg/L	TOC ≤μg/L
EW-I	≥18*	2	0.2	0.2	0.1	0.5	0.5	1	0.1	0.01	1	1	1	20
EW-II	≥15 **	10	0	0	1	2	2	1	5	0.1	1	1	1	100

注*（95％时间不低于17），**（95％时间不低于13）

中国国家电子级超纯水GB/TII446.1－1997标准

指标\级别	EW－Ⅰ	EW－Ⅱ	EW－Ⅲ	EW-Ⅳ
电阻率 MΩ，cm(25℃)	18以上，（95％时间）不低于17	15，（95％时间）不低于13	12.0	0.5
全硅，最大值,μg/L	2	10	50	1000
＞1μm微粒数，最大值，个/mL	0.1	5	10	500
细菌个数，最大值，个/mL	0.01	0.1	10	100
铜，最大值，μg/L	0.2	1	2	500
锌，最大值，μg/L	0.2	1	5	500
镍，最大值，μg/L	0.1	1	2	500
钠，最大值，μg/L	0.5	2	5	1000
钾，最大值，μg/L	0.5	2	5	500
氯，最大值，μg/L	1	1	10	1000
硝酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
磷酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
硫酸根，最大值，μg/L	1	1	5	500
总有机酸，最大值，μg/L	20	100	200	1000

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